第309章 手测参数注入数控大脑

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    陈默站在原地，一动不动。
    他低头看着那张图纸。看了很久。
    然后从贴身的棉袄内兜里，摸出一个油纸包。
    油纸发黄发脆，边角磨出了毛边。
    打开，里面是一本三十二开的硬皮笔记本。
    翻开硬皮封面，扉页上用钢笔写着四个字：校准手记。
    字迹工整，但有几处墨水洇开了。
    不是水渍，是汗。
    “我师傅走之前，把这个给我的。”
    陈默的手在抖。
    “这台机器每一根导轨的直线度偏差。”
    “每一个蜗轮齿的实际齿距。”
    “主光路每个透镜组的最佳工作温度……”
    “全在这里面。”
    他把笔记本递到林希手上。
    “三百九十五个参数。”
    “他量了三年。”
    陈默吸了一下鼻子。
    “他说，‘留着，总有一天会有人来修它。‘”
    林希接过笔记本，翻开第一页。
    密密麻麻的数字，用铅笔一笔一划写成。
    每个数据后面都标注了测量日期、环境温度和湿度。
    有些页面的边角被反复翻折，纸张已经起了毛。
    直播间安静了几秒。
    然后弹幕开始滚动。
    【三百九十五个参数，量了三年。这不是笔记本，这是这台机器的体检报告。】
    【师傅熬瞎了眼睛没解决的问题，徒弟守了三年等来了能解决的人。】
    【“总有一天会有人来修它”，，这句话我要记一辈子。】
    【我现在就一个要求：把这台机器救活！】
    林希合上笔记本。
    “陈师傅。”
    “这些参数，正好是光栅尺补偿算法的输入数据。”
    “你师傅花三年量的东西，今天全用得上。”
    陈默的膝盖软了一下。
    他扶住机器底座，把脸别过去。
    肩膀在抖。
    周维民站在门口，喉头滚了两下，扭过头去看天花板。
    江俊走上前，轻轻拍了拍陈默的后背。没说话。
    他也是长光所出来的人。
    有些东西不用说。
    ---
    改造从第二天早上开始。
    江俊带着两名红星技术员。
    把光栅尺和伺服电机拆箱。
    陈默在旁边看着那两条银白色的光栅尺，眼睛一眨不眨。
    “一微米？”
    “一微米。”
    江俊拧紧固定螺栓，
    “红星跟长光所联合中心的产品。”
    陈默没再问。
    他蹲下去，开始拆工作台侧面的蜗轮箱盖。
    扳手在他手里转得飞快。
    每颗螺栓拧到什么位置松手，不用看，全凭手感。
    这台机器的每一颗螺丝，他都认识。
    光栅尺安装到位后。
    江俊接通数控板电源。
    屏幕上跳出一串位置读数。
    “X轴零位标定。”
    “陈师傅。”
    “你那本笔记上。”
    “X轴导轨在行程中点的直线度偏差是多少？”
    陈默连翻都没翻。
    “0.8微米，偏左。”
    江俊敲入补偿值。
    伺服电机嗡了一声，工作台微微平移。
    屏幕上的读数跳了一下，归零。
    “Y轴呢？”
    “1.2微米，偏下。”
    “行程末端有个0.3微米的回程间隙，要单独补。”
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    三百九十五个参数。
    陈默一个一个报，江俊一个一个录。
    没有人翻笔记本。
    全在陈默脑子里。
    三年，一百八十六次保养。
    每一次保养都要重新测量、重新记录。
    数据早就刻进骨头里了。
    直播间弹幕滚动：
    【这人是活的数据库啊。】
    【三年不是白守的，他把整台机器背下来了。】
    【人形激光干涉仪，比机器还精密。】
    下午三点，全部补偿参数录入完毕。
    江俊做最后一项测试：
    让工作台在全行程范围内往返运动。
    光栅尺实时采集位置数据。
    屏幕上，一条绿色的曲线缓缓展开。
    平直。
    偶尔有微小的波动，但伺服电机在零点几秒内就把它拉回来。
    “全行程定位精度，”
    江俊盯着数据，声音有点发紧，
    “正负3微米。”
    陈默靠在机器旁边，慢慢滑坐到地上。
    他没哭。
    他笑了。
    笑着笑着，把脸埋进膝盖里。
    ---
    光刻机活了。
    但活过来只是第一关。
    三天后，第一批试制硅片进入湿法刻蚀环节。
    刻蚀槽是陈默用不锈钢焊的，简陋但干净。
    酸液配方按照教科书上的标准比例调配。
    第一片硅片放进去.
    计时，取出，纯水冲洗，推到显微镜下。
    江俊看了一眼，脸色变了。
    “侧蚀太严重。”
    他让开目镜，林希凑上去看。
    5微米的线条，被酸液从两侧啃进去将近2微米。
    剩下的线宽不到1微米，有些地方已经断了。
    换配方，提高酸液浓度。
    第二片，断线更多。
    降低浓度，缩短时间。
    第三片，沟槽底部没刻透。
    连续三个通宵。
    十七种配方。
    没有一片合格。
    第四天凌晨，刻蚀车间里弥漫着酸雾的味道。
    陈默靠在墙角打盹，江俊的眼睛布满血丝。
    林希坐在角落，闭上眼睛。
    脑海里，直播间的画面亮了起来。
    他把问题原原本本地说了一遍。
    弹幕沉默了十几秒。
    然后一个ID冒了出来：【材料狗不睡觉】。
    【别用纯HF。】
    【现在的光刻胶耐酸性差，纯氢氟酸刻蚀速率太快，根本控不住侧向钻蚀。】
    紧接着，第二条弹幕：
    【加NH4F做缓冲剂。氟化铵和氢氟酸的摩尔比6:1，槽液温度锁死35度。这个配方叫BOE，缓冲氧化物刻蚀液。】
    第三条：
    【关键点：35度恒温。温度每波动1度，刻蚀速率变化8%。你们没有恒温槽的话，用水浴锅套着不锈钢槽，温度计插在水浴里，人工盯着。】
    第四条，另一个ID【半导体搬砖人】：
    【NH4F这东西你们1983年应该能搞到，化工厂有。纯度不用太高，分析纯就够。】
    弹幕区停了一秒。
    然后齐刷刷一排：
    【大佬！】
    【材料狗永远不睡觉，但永远能救命！】
    【六比一！记住了！考试要考！】
    林希睁开眼。
    “陈师傅。”
    “化工库房里有没有氟化铵？”